プラズマモジュール
新しいアプリ:GEC CCP
NIST GEC CCP 反応器は、容量性結合プラズマの研究用プラットフォームです。このアプリは、13.56 MHz で発生している正弦静電界によるプラズマに対する電力堆積のメカニズムを調査します。このアプリでは、モード選択フォームによって、生成されたレポートの出力形式を選択できます。
さまざまな入力を変更できる GEC CCP アプリケーションのスクリーンショット。
さまざまな入力を変更できる GEC CCP アプリケーションのスクリーンショット。