Global Model Coupled with the Two-Term Boltzmann Equation
Application ID: 67411
The electron energy distribution function (EEDF) plays an important role in the overall behavior of discharges. In this example, the formation period of an Argon plasma is studied with special attention paid to the EEDF. The plasma is created within a 4 cm gap by a DC source voltage of 1 kV at 100 mTorr. A global model in the local field approximation is used to describe the temporal evolution of the plasma species. The rate coefficients for electron impact reactions and electron mobility are obtained from suitable integration of cross sections over the EEDF, and the EEDF is computed at every time step using the Boltzmann equation in the two-term approximation.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.