Manufacturing Variation Effects in a Micromachined Comb-Drive Tuning Fork Rate Gyroscope
Application ID: 89261
This tutorial example is kindly provided by Dr. James Ransley at Veryst Engineering, LLC. This model continues from the base model “A Micromachined Comb-Drive Tuning Fork Rate Gyroscope”, which is also provided by Dr. Ransley. The model demonstrates how to accurately compute the effects of manufacturing variations of MEMS devices without the need of very fine mesh. This highly efficient modeling approach is based on the unique Deformed Geometry functionality of COMSOL Multiphysics, which implements the device shape change due to fabrication imperfections using the same mesh, thus eliminating the error introduced if different meshes were to be used for different geometries.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- either the 音響モジュール, MEMS モジュール, or 構造力学モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.