Pull-In and Pull-Out Analysis of a Biased Resonator — 2D
Application ID: 22141
An electrostatically actuated MEMS resonator is simulated. The device is driven by an AC + DC bias voltage applied across a parallel plate capacitor. In this example, the pull-in and pull-out voltages of the resonator are computed. This is done via a quasi-static analysis of the displacement-voltage trajectory of the full range of motion, from the initial relaxed state all the way to the pulled-in flattened state.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- either the AC/DC モジュール, or MEMS モジュール and
- either the MEMS モジュール, or 構造力学モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.