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プラズマモジュールアップデート
プラズマモジュールのユーザー向けに, COMSOL Multiphysics® バージョン 6.1 は, 周期的な RF バイアスを使用して結合プラズマ反応器をモデル化する機能, モデルのテキストファイルから完全なプラズマ化学を作成する新しいプラズマ化学アドイン, および4つの新しいチュートリアルモデルを提供します. これらのアップデートの詳細については, 以下をご覧ください.
誘導結合性プラズマ (RF バイアス) マルチフィジックスインターフェース
新しい誘導結合性プラズマ (RF バイアス) マルチフィジックスインターフェースは, プラズマ, 時間周期, および磁場インターフェースと結合して, 容量性高周波周期励起を使用して誘導結合性プラズマ (ICP) 反応器をモデル化します. 磁場は周波数領域で解かれ, プラズマ輸送方程式は周期的な定常状態について解かれます. このインターフェースは, 誘導性および容量性の電力結合メカニズムを備えたプラズマ反応器のモデル化専用であり, RF バイアスモデルを使用した新しいモデル Model of an Argon and Chlorine Inductively Coupled Plasma Reactor with RF Bias で使われています.
プラズマ化学アドイン
プラズマ化学アドインは, プラズマおよびプラズマ (時間周期) インターフェースを使用して, モデルのテキストファイルから完全なプラズマ化学を自動的に作成します. アドインを使用すると, 熱力学的パラメーターなどの化学種の特性, 断面積と速度定数からの電子衝撃反応, 重い化学種の反応, 表面反応など, プラズマ化学の側面をファイルで指定できます. 次の新しいモデルは, この機能を使用しています:
- Model of an Argon and Chlorine Inductively Coupled Plasma Reactor with RF Bias
- Model of an Argon and Oxygen Inductively Coupled Plasma Reactor
- Model of an Argon and Oxygen Capacitively Coupled Plasma Reactor
新しいチュートリアルモデル
COMSOL Multiphysics® バージョン 6.1 では4つの新しいチュートリアルモデルがプラズマモジュールに加わりました.
RF バイアス付きのアルゴンと塩素の誘導結合性プラズマ反応器のモデル
アプリケーションライブラリタイトル:
icp_ccp_argon_chlorine
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アルゴンと酸素の誘導結合性プラズマ反応器のモデル
アプリケーションライブラリタイトル:
icp_argon_oxygen
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アルゴンと酸素の容量結合性プラズマ反応器のモデル
アプリケーションライブラリタイトル:
ccp_argon_oxygen
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乾燥空気ボルツマン解析
アプリケーションライブラリタイトル:
boltzmann_dry_air
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