COMSOL Multiphysics^® 6.3 リリースハイライト

プラズマモジュールのユーザー向けに, COMSOL Multiphysics^® バージョン 6.3 では, 非等温プラズマ流れの新しいインターフェース, 反応グループに使用される機能に電子衝撃反応をインポートする機能, および重い化学種用の新しい流入および流出機能が提供されます. これらの更新の詳細については, 以下をご覧ください.

新しい非等温プラズマ流れインターフェース

モデルウィザードリーの新しい非等温プラズマ流れブランチには, プラズマ, 流体流れ, 熱伝達の連成をシミュレートするためのインターフェースが含まれています. このブランチは, プラズマ, 伝熱 (流体), 層流インターフェースを組み合わせ, 非等温プラズマ流れマルチフィジックスカップリングを自動的に追加します. 熱伝導率, 動粘性, 流体速度などのすべての関連量は, インターフェース間で自動的に渡されます. プラズマインターフェースは, 電子衝撃弾性衝突によって重い化学種に伝達される反応エンタルピーとエネルギーを計算し, その後, 伝熱 (流体) インターフェースに体積熱源として自動的に実装されます.

関連するプラズマ (時間周期)(RF バイアス付き) 誘導結合性プラズマインターフェースは, 2Dおよび2D軸対称モデルでのみ使用できることに注意してください. これらの新しいインターフェースは, RF バイアス付きアルゴン–塩素誘導結合プラズマ反応器のモデル と SF₆–アルゴン誘導結合性プラズマ反応器のモデル のチュートリアルモデルに搭載されています.

反応グループ機能での電子衝撃反応のサポート

反応グループ機能に電子衝撃反応を追加できるようになりました. 反応は, 断面積データまたはアレニウスパラメーターを使用して定義できます. これらの入力は手動で追加するか, ファイルからインポートするか, プラズマ化学アドインを使用して自動的にインポートできます. この機能は, 新しい SF₆–アルゴン誘導結合性プラズマ反応器のモデル と SF₆–アルゴンプラズマのグローバルモデル のチュートリアルモデルで確認できます.

新しい流入および流出機能

バージョン 6.3 では, 新しい流入および流出機能が利用可能になり, 大量の重い化学種の選択された境界で流れの特性を指定できます. これらの新しい機能により, 個別のサブ機能を追加する必要があった以前のバージョンと比較して, このような特性を定義するプロセスが大幅に簡素化されます. これらの追加機能は, アルゴン誘導結合性プラズマ反応器のモデル および アルゴン - 酸素誘導結合性プラズマ反応器のモデル のチュートリアルモデルで確認できます.

新しいチュートリアルモデル

COMSOL Multiphysics^® バージョン 6.3 では, プラズマモジュールに2つの新しいチュートリアルモデルが追加されました.