Arizona Thin Film Research

Arizona Thin Film Research は, 薄膜堆積システム, ソース, プロセスにおける実践とシミュレーションを組み合わせた20年以上の経験を有し, 複雑なプロセス基準を満たす新しいシステムの設計, 既存装置の最適化などを支援します. Arizona Thin Film Research チームは, COMSOL Multiphysics^® ソフトウェアと実際のプロセスおよび装置での経験を組み合わせることで, 静止基板と移動基板の両方におけるプラズマ均一性, 堆積均一性, 基板加熱速度をモデル化します.

ターゲット表面に粒子蓄積器を備えた DC 平面マグネトロンの荷電粒子シミュレーション.

専門分野

Arizona Thin Film Research は, マグネトロンスパッタリング, イオンビームエッチングなど, お客様に合わせた薄膜ソリューションのための最先端のシミュレーションと実践的な専門知識を提供しています. 以下のリストで, Arizona Thin Film Research の専門分野をすべてご覧ください.

• 大面積マグネトロンスパッタリングプロセス

  • マグネトロンレーストラックの DC 磁気モデリングと最適化

  • マグネトロンと周囲のプロセスゾーン間の電気的相互作用を決定するための電界モデリング

  • プラズマ密度モデリングとターゲット浸食のための荷電粒子追跡

  • 均一性解析のための分子流モデリング

• イオンビームエッチングプロセス

• 蒸発プロセス

• 電子ビーム源

• プラズマ化学蒸着 (PECVD) 源

• 真空システムのポンピングとコンダクタンス

• 静的および動的表面を用いた分子流モデリング

• 熱および伝熱モデリング

• 静的機械応力モデリング

COMSOL^® が薄膜形成における課題解決にどのように貢献できるか, ぜひお気軽にお問い合わせください.