Chlorine Discharge Global Model
Application ID: 47611
Plasma discharges containing chlorine are commonly used to etch semiconductors and metals in microelectronics fabrication.
This tutorial model studies chlorine plasma discharges using a global (volume-averaged) diffusion model. Global diffusion models can run simulations in a fraction of the time it would take for space-dependent models. This makes them a good choice to study large reaction sets and extended parameter regions.
The Chlorine Discharge model explores absorbed powers from 50 to 600 W, working with pressures from 1 to 100 mTorr. Model results of several relevant quantities such as electron density, electron temperature, and atomic chlorine density are in good agreement with measurements performed in inductively coupled plasma reactors, found in the literature.

この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.