MEMS Pressure Sensor Drift Due to Hygroscopic Swelling
Application ID: 21021
Modern integrated circuits are available as plastic encapsulated microcircuits (PEM). These devices are molded out of polymeric materials and epoxy resins in order to protect the internal semiconductors. Unfortunately, polymeric mold compounds absorb moisture when exposed to a humid environment, thus swelling and causing undesired strains, which can be as high as thermal strains.
This application studies the moisture diffusion across the mold compound that protects a MEMS pressure sensor. The hygroscopic swelling induced by the moisture diffusion induces a drift in the measured characteristics of the sensor.

この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.