Vibrating Micromirror with Viscous and Thermal Damping
Application ID: 14731
Micromirrors are used in certain MEMS devices to control optic elements. This model of a vibrating micromirror surrounded by air uses the Thermoacoustic-Shell Interaction user interface to model the fluid-solid interaction, and it thus includes the correct viscous and thermal damping of the mirror from the surrounding air. The resonance frequency of the mirror when under a torquing load is studied in the frequency domain by means of both frequency-response and eigenfrequency analyses. A simple RLC model is fitted to the system.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- 音響モジュール and
- 構造力学モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.