Vibrating Micromirror with Viscous and Thermal Damping: Transient Behavior
Application ID: 49481
Micromirrors are used in certain MEMS devices to control optic elements. This example model illustrates a mirror that is initially actuated for a short time and then exhibits damped vibrations.
It simulates a vibrating micromirror surrounded by air and uses the Thermoviscous Acoustics, Transient, the Shell, and the Pressure Acoustics, Transient interfaces to model the fluid-solid interaction in the time domain. Use of the Thermoviscous Acoustics interface provides full details of viscous and thermal damping of the mirror in relation to the surrounding air.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- 音響モジュール and
- 構造力学モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.