アプリケーションギャラリには電気, 構造, 音響, 流体, 熱および化学分野に関連する COMSOL Multiphysics® チュートリアルおよびデモアプリファイルが用意されています. これらの例はチュートリアルモデルまたはデモアプリファイルとそれに付随する手順をダウンロードすることにより独自のシミュレーション作業の開始点として使用できます.
クイック検索機能を使用して専門分野に関連するチュートリアルやアプリを検索します. MPHファイルをダウンロードするには, ログインするか, 有効な COMSOL ライセンスに関連付けられている COMSOL Access アカウントを作成します. ここで取り上げた例の多くは COMSOL Multiphysics® ソフトウェアに組み込まれ ファイルメニューから利用できるアプリケーションライブラリからもアクセスできることに注意してください.
This tutorial model explores the behavior of a microwave plasma torch. The plasma is generated within a dielectric tube inserted in a rectangular waveguide. The simulation solves the coupled equations for plasma transport and heating, microwave electromagnetic fields, fluid flow, and ... 詳細を見る
This tutorial studies the deposition of amorphous silicon using an inductively coupled plasma reactor with a silane/argon gas mixture. It examines how the deposition rate varies across the wafer as a function of silane mole fraction and input power. 詳細を見る
In this example, the etching of silicon in a CF4/O2 plasma reactor is studied using a global model. Parametric sweeps for ion energy and oxygen mole fraction are computed. 詳細を見る
This tutorial studies the etching of silicon using an inductively coupled plasma reactor with an RF bias in a mixture of CF4/O2. The etching rate is computed along the wafer as a function of the RF bias voltage. 詳細を見る
Electron transport in low-temperature plasmas depends strongly on the electron energy distribution function (EEDF), which is often approximated as Maxwellian but is frequently nonequilibrium in reality. Incorporating nonequilibrium EEDF behavior into spatially dependent models often ... 詳細を見る