Coil Optimization of an ICP Reactor
Application ID: 96771
This model shows how shape optimization can be used design the coils of an ICP reactor to obtain plasma uniformity. The reactor in study is a planar ICP with the coils distributed along the radial direction. The Optimization study step is used to find the best coil placement so that the gradient of the electron density in the reactor center is minimized. A target electron density in the reactor center is also imposed by varying the coil power.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- AC/DC モジュール and
- 最適化モジュール and
- プラズマモジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.