ピエゾ抵抗型圧力センサー (シェル)
Application ID: 12629
ピエゾ抵抗型圧力センサーは, 最初に商品化された MEMS デバイスのひとつです. 静電容量型圧力センサーと比較すると, 電子機器との統合が簡単で, 応答がより直線的であり, 本質的に RF ノイズから保護されています. ただし, 動作中に通常より多くの電力が必要となり, センサーの基本的なノイズ制限は静電容量型センサーよりも高くなります. 歴史的に, 圧力センサー市場ではピエゾ抵抗型デバイスが主流でした.
この例では, もともと Motorola Inc. (現在の Freescale Semiconductor, Inc.) が製造した MPX100 シリーズ圧力センサーの設計について検討します. このセンサーは現在は製造されていませんが, その設計の詳細な分析が提供されており, アーカイブされたデータシートは Freescale Semiconductor Inc. から入手できます.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- MEMS モジュール and
- 構造力学モジュール
アプリケーションのモデリングに必要なCOMSOL®製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, 物理インターフェース, 部品ライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償評価ライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチーム](/contact) では, この件に関するご質問にお答えしています.