Tunable MEMS Capacitor
Application ID: 123
The electrostatically tunable parallel plate capacitor in this example is a typical component in various MEMS devices for radio frequencies that range between 300 MHz and 300 GHz. You can modify the distance between the two plates, as the applied voltage changes, through a spring attached to one of the plates. A postprocessing step then computes the capacitance.
The example uses the Electrostatics, Boundary Elements interface, which is based on the boundary element method (BEM), for this simulation. This interface negates the need for defining a finite modeling domain and boundary as well as meshing the thin volume of the capacitor.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- either the AC/DC モジュール, or MEMS モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.