Piezoelectric MEMS Speaker
Application ID: 78021
This model analyzes a piezoelectric microelectromechanical system (MEMS) speaker. The speaker, composed of four triangular membranes, uses a layer of lead zirconate titanate (PZT) material with two electrodes on top of a silicon layer as actuators. The triangular membranes are separated by narrow gaps of air that allow for larger deflections of the membrane. The thermoviscous losses in the gaps limit the airflow, thus allowing the four actuators to behave acoustically as a single membrane.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- 音響モジュール and
- either the AC/DC モジュール, MEMS モジュール, プラズマモジュール, or 半導体モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.