Solidly Mounted Resonator 3D
Application ID: 102391
A solidly-mounted resonator (SMR) is a piezoelectric MEMS resonator formed on top of an acoustic mirror stack deposited on a thick substrate. This tutorial shows how to simulate an SMR in 3D. In this example, the eigenmodes were computed with varying number of particles attached to the sensor surface for computing the sensitivity, and the corresponding change in frequency response was analyzed. The resonant frequency decreases with more attached particles, and the sensitivity depends on the attachment location relative to the mode shape - both observations are as expected.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- either the 音響モジュール, MEMS モジュール, or 構造力学モジュール and
- either the AC/DC モジュール, MEMS モジュール, プラズマモジュール, or 半導体モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.