しっかりと取り付けられた共振器2D
Application ID: 101711
ソリッドマウント共振器 (SMR) は, 厚い基板上に堆積された音響ミラースタック上に形成された圧電 MEMS 共振器です. このチュートリアルでは, SMR の2Dシミュレーション方法を説明します. この例では, 固有モードを計算し, 500 MHz から 1200 MHz までの周波数応答を解析しました. 計算されたインピーダンス曲線と変位プロファイルは, 文献に記載されているシミュレーション結果とほぼ一致しています.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- either the 音響モジュール, MEMS モジュール, or 構造力学モジュール and
- either the AC/DC モジュール, MEMS モジュール, プラズマモジュール, or 半導体モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.