等価回路付き薄膜BAW共振器
Application ID: 112881
このチュートリアルでは, パラメーター推定機能を用いてMEMS共振器の電気回路モデルを導出する方法を説明します. このモデルは, 電気回路インターフェースを用いて作成された修正 Butterworth-Van Dyke 回路であり, 薄膜バルク音響共振器（FBAR）を表しています. パラメーター推定スタディを用いて, モデル内の集中定数素子のパラメーターを解析しました.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- either the 音響モジュール, MEMS モジュール, or 構造力学モジュール and
- either the AC/DC モジュール, MEMS モジュール, プラズマモジュール, or 半導体モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.