Thin-Film BAW Resonator with Equivalent Circuit
Application ID: 112881
This tutorial demonstrates how an electrical circuit model of a MEMS resonator can be derived using the Parameter Estimation feature. The model is a modified Butterworth-Van Dyke circuit created using the Electrical Circuit interface and represents a Thin-Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR). Parameter Estimation study was used to solve for the parameters of the lumped elements in the model.
この model の例は, 通常次の製品を使用して構築されるこのタイプのアプリケーションを示しています.
ただし, これを完全に定義およびモデル化するには, 追加の製品が必要になる場合があります. さらに, この例は, 次の製品の組み合わせのコンポーネントを使用して定義およびモデル化することもできます.
- COMSOL Multiphysics® and
- either the 音響モジュール, MEMS モジュール, or 構造力学モジュール and
- either the AC/DC モジュール, MEMS モジュール, プラズマモジュール, or 半導体モジュール
アプリケーションのモデリングに必要な COMSOL® 製品の組み合わせは, 境界条件, 材料特性, フィジックスインターフェース, パーツライブラリなど, いくつかの要因によって異なります. 特定の機能が複数の製品に共通している場合もあります. お客様のモデリングニーズに適した製品の組み合わせを決定するために, 製品仕様一覧 を確認し, 無償のトライアルライセンスをご利用ください. COMSOL セールスおよびサポートチームでは, この件に関するご質問にお答えしています.