Molecular Flow Module

真空システムの低圧気体流をモデル化するソフトウェア

Molecular Flow Module

イオン注入機では、ビーム経路に沿ったガス放出分子の平均数密度を、設計を評価する性能指数として使用します。平均数密度は、ウエハー角度の関数として、1 軸を中心とした回転で計算します。

低圧/低速気体流の正確なモデル作成

分子流モジュールは、複雑なジオメトリの低圧/低速気体流に従来利用できなかったシミュレーション機能を提供するために設計されました。このモジュールは、半導体の処理、粒子加速器、質量解析計などの真空システムのシミュレーションに理想的です。小さなチャネルの用途 (シェールガスの探査やナノ細孔材料における流れなど) にも対応できます。

分子流モジュールでは、高速の角度係数手法で定常状態の自由分子流をシミュレートします。等温分子流と非等温分子流をモデル化して、熱流束寄与を気体分子から自動的に計算できます。遷移流のシミュレーションには離散速度手法も組み込んでいます。

自由分子流と遷移流をモデル化する 2 つの手法

分子流モジュールでは、低速で低圧の流れを管理しやすく正確な結果が得られる方法で解決できるよう、これらの方式に対して 2 つの代替手法を用意しています。グラフィカルユーザーインタフェース (GUI) でモデル入力を受け取って、一連の方程式を完全に指定できるように構成された、2 つの専用のフィジックスインタフェースを利用できます。

Ion Implanter Evaluator

Differential Pumping

Molecular Flow Through a Microcapillary

Rotating Plate in a Unidirectional Molecular Flow

Outgassing Pipes

Adsorption and Desorption of Water in a Load Lock Vacuum System

Molecular Flow Through an RF Coupler